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海德漢光棚尺或編碼器基本原理和制造工藝/海德漢維修

發(fā)布者:ML    來源:上海仰光     發(fā)布時間:2023-10-23


圖  角度比較儀(測量步距約為0.001“)

成立于1889年德國柏林,在高精位置測量和控制技術(shù)領(lǐng)域處于領(lǐng)導(dǎo)地位,HEIDENHAIN擁有研發(fā)和生產(chǎn)測量設(shè)備和數(shù)控系統(tǒng)的豐富經(jīng)驗和專業(yè)知識,專業(yè)研發(fā)和生產(chǎn)高質(zhì)量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器、數(shù)顯裝置和數(shù)控系統(tǒng)。


基本原理和制造工藝

海德漢產(chǎn)品的高質(zhì)量源自特殊的生產(chǎn)和測量設(shè)備。光柵尺的母模版和基體是在專門設(shè)計的有特殊溫度調(diào)控和減振措施的超凈車間中生產(chǎn)的。海德漢開發(fā)和制造直線光柵尺和圓光柵碼盤生產(chǎn)和測量所需的幾乎全部設(shè)備,包括刻線機。

我們?yōu)橛脩籼峁┐罅扛叨葌性化的直線和角度計量解決方案,充分體現(xiàn)我們的超強競爭能力。在眾多應(yīng)用中,我們的產(chǎn)品還被大量應(yīng)用在為標(biāo)準(zhǔn)實驗室設(shè)計研制的測量和檢驗設(shè)備上,我們的角度編碼器已應(yīng)用在天文望遠(yuǎn)鏡和衛(wèi)星接收天線上。毫無疑問,海德漢的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品也受益于其中所積累的知識和經(jīng)驗。

高精度光柵:高精度的基礎(chǔ)
海德漢公司光棚尺或編碼器的核心是我們的測量基準(zhǔn),通常為0.25μm至10μm線寬的光柵尺。這些高精度的光柵尺采用海德漢公司發(fā)明的光刻工藝生產(chǎn) (例如DIADUR或METALLUR),它是編碼器功能和精度的決定性因素。光柵是由一系列等間距排列的刻線和狹縫組成,其間距誤差極小,刻線邊緣整齊清晰。這些光柵尺能抵抗機械和化學(xué)以及振動和沖擊的影響。所有測量基準(zhǔn)都具有可定義的溫度特性。

DIADUR

DIADUR精密光柵是在基板上沉淀一層極薄的鉻,基板通常為玻璃或玻璃陶瓷材質(zhì)。這種光柵尺精度可達(dá)到微米級或亞微米級。


METALLUR
METALLUR光柳尺具有獨特金反光層的光學(xué)材料,接近為全平面結(jié)構(gòu)。因此抗污染能力強。

相位光柵

采用特殊制造工藝生產(chǎn)的三維結(jié)構(gòu)光柵,具有特定光學(xué)特性。這種結(jié)構(gòu)的光柵寬度只有幾微米至四分之一微米。


SUPRADUR
SUPRADUR工藝生產(chǎn)的光柵的光學(xué)特性類似于三維結(jié)構(gòu)的相位光柵,但它具有平面結(jié)構(gòu),因此具有超強的抗污染能力。


OPTODUR

OPTODUR光刻工藝生產(chǎn)的光柵具有極高反光率。它由光學(xué)三維結(jié)構(gòu)構(gòu)成,其平面結(jié)構(gòu)類似SUPRADUR光棚。

MAGNODUR微米級磁膜構(gòu)成的精細(xì)磁柵。



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